(1)電容式壓力變送器
隨著生產(chǎn)自動(dòng)化程度的不斷提高，壓力測(cè)量?jī)H能就地指示已遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足生產(chǎn)的需要，能將壓力轉(zhuǎn)換成能夠遠(yuǎn)傳的電信號(hào)的壓力變送器得到了越來(lái)越廣泛的使用，以便對(duì)生產(chǎn)進(jìn)行集中檢測(cè)和控制。
目前常用的壓力變送器有電容式壓力變送器和擴(kuò)散硅式壓力變送器兩大類(lèi)。
電容式壓力變送器是將被測(cè)壓力通過(guò)彈性元件的位移轉(zhuǎn)換成電容量的變化，并通過(guò)檢測(cè)和放大電路將電容量的變化轉(zhuǎn)換成4～20mA的標(biāo)準(zhǔn)直流電流信號(hào)。
電容式壓力變送器的壓力傳感部分是一個(gè)膜盒，如圖2～14所示，膜盒用隔離膜片密封，在其內(nèi)部充滿硅油。剛性*絕緣層內(nèi)側(cè)的凹球面形金屬作為固定電極，中間被夾緊的彈性平膜片(測(cè)量膜片)作為可動(dòng)電極，從而組成兩個(gè)電容器。當(dāng)被測(cè)壓力變化時(shí)，隔離膜片感受兩側(cè)壓力的作用，通過(guò)硅油傳壓使彈性膜片產(chǎn)生位移，當(dāng)差壓增大時(shí)，可動(dòng)高板將向低壓側(cè)靠近，測(cè)量膜片產(chǎn)生位移而改變兩高板間的距離，從而引起兩側(cè)電容器電容量的改變，測(cè)量出相應(yīng)的電容量變化，并轉(zhuǎn)換成4～20mA的標(biāo)準(zhǔn)直流電流信號(hào)輸出，就可知被測(cè)壓力值。